晶圓廠為何要用天車晶圓？

晶圓廠的自動化程度有多高 據說在臺積電的廠區中 有了長達50公里的天車軌道 5000多個軌道路口 2000多臺晶圓傳輸盒子在同時運動 每天需要運送60萬車次的晶圓 爲什麼要用這種天車來搬運晶圓 人工搬運就不行嗎 衆所周知 晶圓製造是人類迄今爲止最複雜的製造業之一 一片晶圓要在幾百臺生產設備間流轉 數十次衝入同類型的加工設備 經過成百上千道工序 纔會誕生數百顆指甲蓋大小的晶圓 而擔任晶圓廠空中運輸的主要設備 就是這個天車 可能大家不知道 晶圓製造所處的環境 要比醫院的手術室還要趕緊10萬倍 任何微小塵埃或污染物都可能導致晶圓損壞 從而影響晶圓的產出率和質量 如果使用手動搬運的方式 不僅風險很高 容易導致晶圓損壞 而且還會帶來灰塵或其他污染 而天車在封閉的軌道內運行 可以大大減少晶圓暴露在外界環境中的風險 從而有效避免污染問題 其次就是效率 晶圓在製造過程中 需要經過數百個不同的工序 這些工序要在多個專用設備之間進行 而天車通過內部精密的計算機控制 可以連續無間斷的快速且精準的 將晶圓從一工作站移動到另一工作站 說到再通俗一點 只要有電它就能一直執行搬運任務 這是人工再怎麼努力也無法達到的 由於天車對整個產性的穩定運行來說太重要了 因此晶圓廠一般都會使用業內稱數度比較高的產品 目前在全球晶圓天車市場中 主要被日本春田機械和日本大福所壟斷 市場佔有率達95%以上 雖然不確定日本會不會拿這個掐我們脖子 但按照以往的經驗 天車的國產替代是肯定要有的 好的消息是 目前已經有一些國產天車被應用到實際生產中 當然了也不是所有的晶圓廠都會用到天車 比如6寸的晶圓廠就不需要 因爲相比之下6寸的晶圓較輕 同樣情況下手動搬運或者使用較小的自動化設備就可以了 再者天車系統價格十分昂貴 據悉12寸晶圓廠中一套完整的天車自動化搬運系統 佔晶圓廠固定投資的3%左右 也就是說如果投資300億美元建廠 這套搬運系統就要花掉9個億 所以有人就說 這種天車可能是全球最貴的小車 也是有道理的