【半導體精講】這絕對是講的最全最細的半導體教程，從0到1帶你徹底瞭解芯片半導體工藝！包含半導體工藝流程介紹、IC芯片、氧化、沉積工藝、CMP等等全工藝流程！ P27 - 第26講—清洗腔及主軸結構講解

大家好 我是心靈教育 主號老師 那麼本期課的話 我們來看一下我們這臺設備它的結構 我們先把它的外框架把它給隱藏了 那麼可以看到 這裏的話其實就是我們這裏的清洗單元 那麼像我們這種清洗設備的話 它的液體的話 一般是儲存在這種氣體攪動罐裏面的 就比如說這裏的話 我們需要純水 對吧 那麼這個純水的話 它就是把它保存在這種氣動 氣動攪動壓力管 氣動攪動壓力桶 那麼長這個樣子 你們在某寶上面一搜就有了 它叫做氣動攪動壓力桶 然後再通過液路把它給往上傳上去 好 那麼其實我們這整個的清洗槍組件的話 是比較簡單的 因爲這裏我們的清洗設備的話 它只是液體 對吧 它只是純水 它不是那種酸 所以說這裏其實我們的材料的話 它都是那種316補鏽鋼的 316補鏽鋼 它並不是說那種酸 外面這個綠色的話 它是一個防濺罩 防濺罩 那麼它主要是爲了防止液體濺出來 那麼它整體的結構其實非常簡單 它沒什麼機械結構 同學們 它沒什麼機械結構的 好 那麼我們再來看一下 它中間的話 它是有個轉檯的 同學們注意 它中間是有一個轉檯的 因爲這裏的話 它是需要把這個轉檯 它需要這個轉檯把晶圓來轉動 它 從而讓它清洗的更加均勻 下面的話是一個伺服電機 同學們注意 這裏是一個伺服電機 那麼這裏的話是一個電機安裝座 這個伺服電機 它通過連軸器來連接這一根轉軸 是不是 而轉軸的話 是卡在軸承座裏面的 轉軸是卡在軸承座裏面的 然後的話 在前面 上面的話 通過這兩個龍孔 來鎖住我們轉檯 對不對 那麼我們電機的話 通過連軸器帶動這根軸旋轉的話 那麼我們的狀態的話 它也會一起來轉動 那麼其實像這裏的晶圓的固定 其實我們一般的話是採用那種真空 是採用真空的方式 把它給吸住了 只不過這裏的話 它採用的是機械式的 採用機械式的 這種的話其實不是很好 不是很好 一般是採用真空吸附 好吧 那麼其實在這個轉檯這裏的話 它最重要的其實並不是這裏的機械結構 是什麼 是它的密封 我們主要是考慮密封性 因爲它裏面有很多液體 對不對 如果說你這個液體的話 你從中間露出來的話 第一個可能會把我們的下面的一些結構 鏽死掉 或者說電機進水 對不對 那麼對於我們的結構的話 它都不好 所以說我們來看的 首先的話 它第一個有這樣的一個密封罩 對不對 那麼密封罩的話 跟軸的話 它是沒有發生任何的接觸的 看到沒有 它是套到我們底座的圓柱上面的 它是套在圓柱上面的 同樣的話再通過螺絲鎖上去 這裏的話是一個接頭 那麼罩子和法蘭之間的話 它中間還有一個密封 還有一層密封圈 對不對 那麼它密封圈的話 首先它這裏是卡到 這裏的話 它是卡到轉檯裏面去的 對不對 那麼就算它液體它流下來的話 看到沒有 它也只會從這裏下去 對不對 它不可能說接上到裏面去再下來 是不是 而且這裏的話 它還會有一層密封圈 注意 這裏它還會有一層密封圈 那麼它這個液體就更加過不來了 就更加過不來了 那麼這是我們這個轉檯結構 最重要的地方也就是密封 對不對 密封 那麼其實整個結構的話也都是比較簡單 但凡是做過3C或者說鋰電設備的人的話 像這種設備的話 做起來的話應該算是手到擒來 手到擒來 是吧 好 那麼我們本節課的內容到這裏就結束了 同學們 再見