【半導體工藝】目前講的最全最細的半導體教程。包含半導體工藝和半導體設備設計!涵蓋:IC芯片、氧化、沉積工藝、CMP等等及封裝工藝!全程高能,無廢話! P4 - 3.硅棒研磨
2026年8月19日
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視頻概述
AI 生成本视频介绍了单晶硅棒在拉制完成后的后处理工艺,重点讲解了利用金刚石磨床进行滚磨和开边的过程,旨在提升硅棒表面光滑度并加工出用于后续定位的扁位或微槽,为接下来的切片工序做准备。
大家好 我是千年教育 周涵老師
在上期的話 我們是講了拉硅棒的工藝 硅棒拉出來之後 其實它對硅棒本身 我們是還需要進行一個滾磨 跟
開邊的 像這種
滾磨的話 就需要這種金棒磨牀 金棒磨牀的話 它大概是長這個樣子 對吧 那麼就是把這種
一個剛拉出來的硅棒 把它弄到這個機牀上面去 對它的一個外表面進行一個研磨 讓它
表面光滑一點 光滑一點 好 那麼我們一起來看一下這個視頻 這個視頻 我們來看一下
這就是一個拉硅棒的 這就是一個硅棒研磨的機牀
那麼我們的硅棒的話 先放在這個上面 放在這個上面之後的話 再通過兩邊去夾緊定位 我們來看一下
好
好 那麼現在的話
這個硅棒夾纏單元進入我們這個加工區
然後扇料單元的話
它就逐步的退出來了
是吧
那麼是
那麼可以看到這裏的結構
其實它下面的話是有兩個絲桿
來控制我們這個夾爪
來夾緊張開的是吧
這裏的話應該是一個正反絲桿
那麼像我們這種單晶硅棒的話
它一般是要加工一個扁位或者一個微槽
那麼它加工扁位或者微槽的目的
其實是用來後面來進行一個定位的
好
那麼至此的話
我們一根硅棒
我們就把它給研磨加工完畢了
對吧
好
那麼硅棒加工完成之後的話
下一步的話
我們就開始切片了
好
那麼本期的內容到這裏就結束了
同學們再見

