【全540集】這絕對是講的最全的半導體工藝教程，從入門的半導體工藝講解到進階的清洗工藝，讓你少走99%的彎路！這還學不會，我退出機械圈！ P29 - 第二十八講——清洗臂的結構講解

大家好 我是天真教育 轉換老師 本節目的話 我們來講一下我們這臺設備 它的擺臂 也就是它噴葉頭 以及它的毛刷頭 那麼可以看到 這裏的話 就是我們的毛刷臂 這個毛刷臂它的結構 說實話 其實也很簡單 那麼它的動作 第一個升降動作 升降動作 第二個的話 就是我們擺臂 它自我的一個旋轉 對不對 那麼所以說 從結構上來看的話 首先它升降的話 是用的一個思考模組 它的升降 在這裏的話 應該是個KK模組 同學們 升降 這裏的話 應該是一個KK模組 KK模組 好 那麼由KK模組 來控制它的一個升降 對不對 那麼同時的話 再由我們伺服墊機 然後通過減速器 來連接我們中間的擺臂 對吧 我們通過潑面圖來看一下 來看一下 好 這是連軸器 對吧 那麼連軸器上面的話 是有一個感應片 感應片 那麼感應片的話 就來通過我們感應片 這個感應片的話 它就是來感應感應器的 對不對 那麼再通過感應器的話 來給它設置原點 或者說給它限位 是吧 好 那麼這裏的話 是一個軸承座 因爲我們這整個擺臂比較高 對不對 比較高的話 所以說我們軸承座的話 它也比較長 因爲就比較長的話 那麼它這裏纔會更穩 更穩 那麼下面這裏是一個軸承 這裏是一個卡簧 這裏也是個卡簧 這是個軸肩 對吧 那麼下面這裏的話 它也是個卡簧 這裏的話 它也是個軸承 那麼這樣的話 就把我們這個軸 把它固定住了 是不是 好 那麼固定住了之後的話 上面到了我們清洗槍裏面 這的話 首先這個的話 它是一個外護桶 外護桶 就是說防止液體 防止液體 碰到上來 好 那麼外護桶的話 這個軸它的正上方的話 它是有一個爆鍋的 這個軸正上方 它有一個爆鍋 那麼這個爆鍋的話 就通過這兩個螺紋孔 把外護桶把它給固定住 是吧 固定住 好 那麼再就是我們的外護罩了 外罩 那麼外罩的話 它後面有一個孔 對吧 那麼這個孔的話 其實它就是過線的 過線 過什麼線 過電極線 爲什麼過電極線 可以看到 其實這就是我們這裏的PVA刷子 PVA刷子 那麼至於PVA它長什麼樣 在之前我給同學們看過了 這是個PVA刷子 而這個刷子的話 它是被一個四二步進來控制的旋轉 同學們可以看一下 這是一個四二步進 同學們注意 這是一個四二步進 那麼四二步進的話 它接線的話 它是從這接線 從這接線 那麼從這接線的話 那麼它外面是有一個外罩的 這是我們的外罩 同學們注意 這是我們的外罩 對不對 那麼這個外罩的話 它基本上它應該是屬於一個鑄造件 鑄造件 對吧 因爲像這種氣體設備的話 它一般是P量製造 P量製造的話 那麼它們就會開模 開模的話 那麼這就是鑄造件 好 那麼鑄造件的話 不對 這應該是一個PP 可能是一個PP材料 對吧 好 那麼它中間的話 就是我們的毛刷轉接板 毛刷轉接板 那麼就是說我們電機從這裏出去 出去 電機線從這裏出去 出去 好 那麼出去的話 從這裏出來 然後的話 再接到我們地下里面去 對吧 那麼它之所以這麼做的目的的話 其實主要還是爲了防水 主要還是爲了防水 這點很重要 那麼我們可以看一下 這就是我們的前面是毛刷轉接板 然後中間兩個槽 中間兩個槽就是我們的過線槽 是吧 過線槽 好 那麼它的擺臂前端 這裏是四二步進 來控制我們的毛刷旋轉 那麼這裏的話 它就是一個二流體噴嘴了 二流體噴嘴 那麼這裏二流體噴嘴 通過二流體噴嘴 加上氮氣以及純水 然後再加上照射波發射器的話 那麼它就能夠發生那種物化的速度 較快的一個液體 對不對 然後再通過我們電機控制擺臂 來做一個緩慢的旋轉運動 從而就可以對我們槍室裏面的 晶圓來進行清洗了 是不是 來進行清洗了 所以說它的結構它是比較簡單的 是比較簡單的 好吧 好 那麼可能有同學會問 他說你這個籃子是什麼 其實這個籃子它是個清洗杯 清洗杯 爲什麼呢 因爲我們海綿它每次在上面去刷洗之後 它表面可能會殘略的一些污染物 對不對 所以說這些污染物的話 其實會在這一個清洗杯裏面 再把毛刷表面的話 把它給再清洗一遍 從而把這些殘留物把它給去掉 從而讓這裏的清洗它會更加乾淨點 更加乾淨點 好吧 那麼這就是我們整臺設備的一個清洗結構 以及它的工藝 如果說大家有什麼問題 或者說還想知道更多關於其他方面的一些辦案 的知識 那麼也都可以在評論區留言 好吧 那麼當然的話 如果說同學們想要這個設備 那麼也可以在評論區留言 好吧 那麼同學們 再見