皮托科技-案例分享【結合AI與CAE模擬技術,實現半導體製程低碳化】
2024年10月14日
皮託科技股份有限公司
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你可以看到我們已經把model
首先變成是一個APP的介面
所以它已經有一些
我們先看一下影片
在我們這個機臺上面
我們可以很快的去調參數
包含我的功率
我的尺寸
我的材料
很快的就可以去拖拉
那它是一個即時模擬的過程
所以這個拖拉過程
我們在mini seconds之間
我們就可以得到說
它的轉速跟我的壓力
壓差的增幅會是怎麼樣
這是一個很即時的過程
等於說你調一個參數
一般我們模擬可能要花很多時間
那我們現在一下就可以瞭解
那現在看到這兩張曲線是
我們可以把上一個參數
跟這個參數
可以把它記錄下來
可以做個比較
可以看到改了什麼參數
它可以馬上反映出新的結果
那現在這個動作是說
我們來做個比較
如果說沒有AI的話
我直接就是跑一個參數
要花多久的時間
那我們可以看到
它現在正在執行當中
這個是沒有做快轉
這是實際即時去錄下來
所以我們可以知道說
跑一個參數
你這樣的一個
CMG毅力分析的model
它跑多久
現在我們還在等待它算的時候
它現在已經跑到第一個點
就是一個轉速
然後搭配三個剛才講的材料
還有幾何
還有這個功率三個參數
等於四個參數一個弱點
跑一個結果
快花了一分鐘
當然這邊就有一些快轉
那我們跑五個點之後
就跑五個參數組合
我們可以看到它這樣的
再回放一下
還有一點時間
這邊再重新再播一下
我們可以看到
我們現在拓拉參數
設定它的功率
然後它的材料幾何調整
可以馬上得到各個轉速
對應到的壓差結果
所以這等於
你可以把它想像是一個無限多點
很快就可以得到一個結果
那我們可以
把這個結果
跟前一個結果做比較
把現在的這個結果
把它給儲存下來
然後再去拉新的參數
就可以看到
這兩個結果之間就會不一樣
接下來我們纔是
去做一個實際的
就是我們模擬的計算
實際的計算
就是把我們那
四個參數的一個弱點
去跑計算
那我們可以看到
它大概花了一個case
大概這個case by case
一個case花了一分鐘時間
然後我們再跑
第二組參數
又花了一個時間
我們跑五組參數
五組參數組
又花了五倍的時間
以此類推
那你可以看到
我們現在
它還在運算當中
第一個結果出來
這只是一個結果
而不是一個無限多的
一個曲線的結果
那三個參數
快轉一下
三個參數
第三組參數
第四組參數
第五組參數
你可以看到
模擬跟AI預測的結果
是很準確的
但是如果說我們
沒有那麼多時間
我們可能跑的
這個參數點
比較寬鬆的話
它的結果就會
不夠精準
因為我們沒辦法去得知
無限多個位置的一個結果
所以可以看到
就會呈現一個
不準確的結果
所以你要嘛
要花時間跑
要嘛就是不準確
所以你搭配AI
就可以解決這個問題
這是我這個case的一個
一個結論
看下一個
下一個案例
我們再把這個ATP
還有都已經訓練好了
這個AI的model
我們再進一步的來去
結合到這個
數位分身的部分
就是我們這個case
是一個壓力感測器
它可以放在
像我們這個半導體
我們可以去偵測
它的一個壓力的一個sensor
那我們現在呢
把這個壓力sensor
變成是一個
數位的一個sensor
就是有一個虛擬model
那這虛擬model裡面的話
我們可以很快的
可以接受到
外部的壓力的訊號
外部的壓力訊號
是在我們現在最左邊
有四個曲線圖
最上面第一個
就是我們的壓力訊號
壓力訊號你可以看到
我們可以透過這個定時器
每多久時間
收集一筆外部的資料
是多少個壓力的資料
然後我們去計算
這個數位分身
這個虛擬這樣的一個
感測器
然後下面
左邊有三張圖
包含它的這個
位移量
還有包含音力
還有包含它的這個
變壓
那所以我們就可以
透過音力模擬出來的一個
即時模擬出來的結果
就可以知道說
它在多少壓力下
它可能有些音力
會超過我的一個
一個感測器原子
那我會把它記錄下來
那我的位移量呢
也是一樣
它如果超過一個
一個閥值
記錄下來
那
可以看到呢
它如果超過一個值之後呢
我們會有一個
我們不想要的值
它會把它記錄下來
那這有什麼目的呢
就是我們可以透過
這樣的一個記錄呢
就即時
實時的去追蹤
我們這個虛擬的這個分身呢
它到底面臨到
多少壓力的情況下
會有什麼樣的一個記錄
我們透過音力分析呢
我們就可以去做一個
它的一個疲勞老化的一個
預先的預測
也就是說我們可以做一個
預防性維護的動作
那透過這樣的一個
位移量的話呢
我們就可以呢
去分析
它會不會有過大的一個
變形
造成這個
壓力的這個洩漏
那所以呢
這樣子的話呢
我們就可以去減少
我們在安裝其他的一個
其他種類的sensor的一個數量
所以這也可以減少一些能耗
那另外呢
透過最後一個
最後一組是壓力
電壓圖
因為我們這是一個sensor
它是由壓力跟那個
就是壓阻效應做轉換
所以我們可以即時追蹤
它一個老化狀況
然後把它當成一個歷史數據
再去
更新去校正
這樣的一個數位分析
所以
透過這樣的一個
虛擬的這樣的一個
分身的這樣的一個model
我們就可以把
真實的感測進來
做一個分身出來
然後做
預防性維護
然後減少
其他sensor值的量
還有呢
去做一個
必要的一個校正
減少它的準確度
那這是我們這個
第二個
要分享的一個案例
那我們看第三個
第三個是一個
無塵室的一個熱流的一個
數位分身的一個model
那在這個model裡面的話呢
我們會
放在一個
整個場域裡面的
其中一個機臺
我們假設
它會有一些熱源會生存
但是我們希望
當然在這個無塵室裡面呢
我們希望它的這個
溫度能控制在一個水平的範圍
就介於一個合適的範圍
避免它的一個
溫度的不均勻
流暢的擾動
造成整個冷沉
或者說它操作條件的一個不適當
那所以我們這裡呢
就一樣
把這個無塵室的
這樣的一個場域
建立成一個熱流的一個
AI的這個model
那我們在這個case呢
我們可以去體驗一下
就是說呢
我們可以呢
也是一樣
跟上面case一樣
我們可以去讀錄一個
有類似的一個
外部的訊號
或者是我們可以
額外去給另一個
手動的訊號
我們可以看一下
一樣看一下影片
這是我們整個
整個的一個場域
然後左邊那個曲線
就是我們可以讀的那個
熱源發生的一個位置點
所以它現在在一個位置上面
那當然我們可以透過
即時的讀錄訊號
或者說我們手動去給
一個就等我們機臺操作裡面
我知道我在這個位置
會發生一個熱源
我們可以去點一個位置
那它的位置的坐標就改變了
那可以看到呢
在某些位置下呢
它的這個熱點
會造成整個系統的這個溫度
會達到一個
超過一個法指
那這時候我們就可以
去把這個
額外的這個
風的風量
給提高
提高的話呢
我們就可以
把這個溫度降到一個
在可以操作下的一個
水平的範圍
那如果說
我們熱點發生在某個位置下
因為這個位置
已經有其他的風扇
還有原本風扇的一個足夠的風量
可以來去提供一個
有效的降雨
那這種情況下呢
它就不需要額外的這個
增加它的這個風量
所以它的風扇就不會動
然後
它的這個風速的話
就維持比較低的一個
一個風量的水平
那所以我們透過這樣的一個
建置這樣的一個
數位分身這樣的一個AI的
這樣的一個代理模型
我們就可以很快的預測說
任何會發生熱點的位置的
一個情況下
我們可以透過這種
虛擬的model
很快去算說
它需不需要去啟動額外的
增加額外的這個風量
那如果需要的話
它風量要到多少就夠了
不需要
太強
太強的話會增加額外的能耗
那我們只要
維持在一個我們可以接受的一個
溫度的範圍的情況下就可以
所以我們透過這樣的model的話呢
我們就可以
很有效的
來把這樣的一個
無程式內部的這個
熱點的這個
溫度的一個分佈呢
做一個合理化的配置
做到有效的這個
低能耗
無碳化的一個配置
好
這就是以上分享的
這個三個案例啦
就是結合CAE
還有AI
限制這樣一個代理模式
或者再進一步的結合到
跟硬體結合的這樣的一個
數位分身的一些案例
我們把目前這些影片
給大家做分享

