【半導體工藝】最全最系統教程！從頭到尾帶你徹底瞭解芯片半導體工藝！包含半導體工藝流程介紹、IC芯片、氧化、沉積工藝、CMP及封裝工藝圈流程等等 P8 - IC工藝——清洗設備

各位PTT同學大家好 我是小王教育接工師 傳統感謝大家觀看啊 今天給大家帶來的是半導體行業設備 IC芯片織中油製造流程的一個部分工藝 之前呢我們已經講了氧化講了塗膠 講了乾燥啊 講了這個霧化氪石啊 也講了這個離子注入以及成績和CMP啊 那今天呢我們再來講一個步驟叫清洗啊 我們講CMP 他其實是一個拋光的過程對不對 但是我們啊一般來講拋光之後 我們要做一個清洗和乾燥的過程啊 不然的話啊對後續的工藝呢 他會有很大的這個影響 好清洗呢是半導體行業製程 必不可缺少的一個重要環節 也是影響半導體期間良率的一個 重要因素啊 這裏呢給大家啊看到這個沒有 這個是半導體的離子芯片啊 它是我們清洗工藝中的一種 啊是我們的一種啊 爲了這個大幅度降低他的這個良率啊 對吧加提高他的良率對吧 降低雜質的影響 比如說我們的一些顆粒啊 比如說自然氧化層 或者說我們一些金屬呃 金屬的污染以及什麼呢 比如說我們在沉積啊 或者說在做氧化的過程中啊 以及在做這個離呃 這個殘呃這個光刻的過程中啊 以及呃這個點膠 塗膠和除膠的過程中對吧 我們會有不同的這個殘留物 以及什麼比如說我們做CMP CMP啊就是化學機械研磨的過程中 他也會有啊 比如我們研磨液啊 以及我們的研磨顆粒啊 以及我們啊這個研磨頭他的一些 啊也呃 磨磨下來的一些這個這個顆粒啊對吧 這都會對他產生影響啊 是說我們要做一個清洗啊 那就如果說按清洗的步驟 或者數量來算的話 基本上是我們新聞中這過程中呢 呃比較比較大的一個工序啊 就是數量還是比較多的啊 好我們來看一下啊 就是在呃半導體清洗過程中啊 他會有很多的步驟 我們在過程裏面呢非常多對吧 那這個各步驟裏面我們都會進行 呃前端清洗 或者說中端清洗的過程啊每一個 啊每一個堆疊過程呢都要進行清洗哦 每個堆疊過程都要進行清洗哦 那麼清洗的工藝好 還是提升良率的關鍵對吧 特別是什麼呢 特別是要求更高的時候啊 特別是我們的這個指認啊納米 納米級別達到更高的時候 這個時候影響會更大啊 因爲我們在光刻的過程中影響也比較大 在刻石的時候啊成績的時候 影響都非常大 那麼一般來講呢 清洗設備啊 呃這個清洗技術的一般來講可以分爲兩種 一種的叫絲髮 呃清洗第二種的叫幹發清洗啊 絲髮清洗的是目前的主流路線啊 佔芯片清洗的呃 主要是一般來講佔了80%啊對吧 那麼絲髮清洗主要是什麼方式啊 他是通過什麼 通過化學藥液以及去滴溼水 當然他也可能會包含其他方式 比如說我們的超聲啊 這種清洗方式 那呃共同作用的情況下對吧 對原金的表面進行無傷的無傷 我們講無損傷的清洗方式啊 但是其實他是有一定的這個損傷形式啊 那包括了這個 RCA的清洗法以及超聲清洗對 那麼絲髮清洗呢 它是效率比較高啊 成本呢也是比較低的啊 但是呢化學啊 因爲它是一個化學溶劑的這個方式 那化學溶劑它會造成這個化學污染 同時呢 它也可能使我們的芯片造成這個交叉污染 對吧 同時呢也可能產生這個圖形的損傷 對我們光刻之後呢啊 刻石之後呢它會產生一個圖形損傷對 啊清洗過程它會有一個腐蝕的一個過程 腐蝕的過程 或者一個溶劑的一個過程啊 那麼鋼發清洗呢 他是不需要使用這個化學溶劑的清洗方式 啊啊一般來講呢是嗯 有幾種第一種呢就是啊像氣象清洗法啊 包括我們這裏等離子的這種清洗方式 對吧優點什麼優點就是清洗的時候 它不需要什麼化學溶劑啊 所以說它的這個環境是比較好的啊 對我們的交叉污染呢 是沒有什麼交叉污染的啊 對不對 啊磨損呢也是比較低啊 但是呢有個不好的地方就是它的成本比較高 同時呢一般來講 它的要求的控制精度也是比較高啊 我們的技術病人呢也是比較高的啊 所以說目前來講呢 它的佔比率也沒有那麼高啊 那麼嗯 像我們目前主流的清洗設備啊 主要包括哪一代 包括這個單片清洗啊以及潮溼清洗 還有組組合式清洗啊 以及什麼以及我們批量的啊 批量批次啊批量次的這種呃 旋轉噴零啊就是高速旋轉吧 噴加加上噴零的 等離水噴零的形式來把它這個給 給它弄乾淨啊弄乾淨這種清洗方式 那目前來講啊 單片清洗它的佔比率是比較高的 爲什麼呢 因爲它可以解決交叉污染的問題 而且它的質量保證 穩定性是比較好的啊 但是呢它的設備產能是比較低啊 因爲我們是必須要單片的形式去做 啊那麼潮溼清洗呢 就是我們講是批量式的一個清洗方式啊 它的這個呃 這個生產效果的是比較好的 就我們講它的批量啊批量性是比較好的 就是效效率是比較高的啊 但是呢產能是比較高 但是呢它有很強的污染性 而且對質量來講呢 呃它的這個波動性還是稍微比較大的啊 好那今天呢我們就認識一下啊 半導體清洗設備 有一些工藝啊或者說它的這個分類形式 以及我們能用到的一個狀態啊 以它的一個特點區別啊好 今天呢我們就講到這裏啊 感謝大家的觀看 然後感謝大家關懷支持啊 那麼大家一見三連多之下 我是蒼老師期待下次再見