提升半導體製程效率的秘密武器

在半導體產業中，使用雙馬達驅動的龍門系統可提升設備速度和推力，但需精準控制避免震動、旋轉等問題。 機械工業雜誌7月號「馬達控制與傳動系統技術專輯」，由工研院機械所陳文泉組長與陳世剛研究員為您介紹「多軸精密控制系統參數鑑別與同動控制技術」，不止改善控制系統的精度，並降低環境變因對系統的影響，提升整體控制性能！就來聽聽專家怎麼說！

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