為甚麼說2026年機械崗位缺口高達100多萬,但很多人卻找不到工作?是專業水平不夠硬還是企業要求太離譜? P52 - 半導體——退火

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2026年11月13日
視頻概述
AI 生成本节课介绍了芯片制造中的退火工艺。退火旨在通过加热、保温和冷却,修复离子注入造成的晶格缺陷并优化杂质分布。重点介绍了炉管退火、快速热退火(RTA)、激光退火及离子束退火,其中RTA因成本适中、均匀性好且升温快速而最为常用。
在上節課的話
我們是講的離子注入
那麼離子注入之後的話
因爲一些離子的話
破壞了它的晶格結構
所以說它就需要用退火
來修復它的結構
好
那麼我們就來看一下
退火它的工藝有哪一些
在芯片製造中
退火工藝無處不在
通過將晶圓加熱到一定溫度
並在此溫度下
保持一段時間
然後以恆定的速度冷卻
以達到修復晶格缺陷
促進雜質分佈的目的
晶圓退火工藝
可分爲爐管退火
快速熱退火
RTA激光退火
離子束退火等
目前晶圓廠中
最常見的RTA退火系統
成本適中
均勻性好
能夠在幾秒到幾十秒的
極短時間內
迅速升溫
保溫與冷卻
大大提高了
晶圓退火效率與效果
好
那麼這就是退火的一個流程
那麼退火之後的話
其實我們晶圓就要開始薄膜沉積了
薄膜沉積
好吧
好
那麼本期課的內容到這裏就結束了
同學們
再見
