【半導體全套教程】2025年最新的半導體教程！僅此一家！你想學的這裏都有！看完少走99%的彎路！吊打一切付費教程！ P27 - 27.清洗腔及主軸結構講解

大家好 我是心靈教育主號老師 那麼本期課的話 我們來看一下我們這臺設備它的結構啊 我們先把它的這個外框架把它給隱藏了 隱藏了 那麼可以看到啊 這裏的話其實就是我們這裏的清洗單元 清洗單元 那麼像像我們這種清洗設備的話 它的液體的話 一般是儲存在這種氣體攪動罐裏面的啊 就比如說這裏的話 我們需要純水對吧 那麼這個純水的話 它就是啊 把它保存在這種氣洞啊 那個氣洞攪動壓力 氣洞攪動壓力桶 那麼長這個樣子啊 長這個樣子 你們在魔寶上面一搜啊 就有了 它叫做氣洞攪動壓力桶啊 然後再然後的話再通過液露啊 把它給往上傳啊 傳上去 好 那麼其實我們這整個的清洗槍組件的話 嗯 是比較簡單的 因爲這裏我們的清洗設備的話 它只是液體對吧 它只是純水 它不是那種酸 所以說這裏其實我們的材料的話 它都是那種316補鏽鋼的啊 316補鏽鋼 它並不是說那種酸啊酸 呃 外面這個綠色的話 它是一個防濺罩啊 防濺罩 那麼它主要是爲了防止那個液體啊濺出來啊 那麼它整體的結構其實非常簡單 它沒什麼機械結構啊 同學們 它沒什麼機械結構的 好 那麼我們再來看一下 它中間的話 它是有個轉檯的 同學們注意啊 它中間是有一個轉檯的 因爲因爲這個話它是需要把這個轉檯啊 它需要這個轉檯把這個晶圓啊 來轉動它 從而讓它那個清洗的更加均勻啊 呃 下面的話是一個伺服電機 同學們注意啊 這裏是一個伺服電機 那麼這裏的話是一個電機安裝座啊 電機安裝座 它這個伺服電機 它通過連軸器啊 來連接這一根轉軸 是不是 而轉軸的話是卡在這個軸承座裏面的啊 轉軸是卡在這個軸承座裏面的啊 然後的話在前面啊 上面的話通過這兩個龍孔啊 來鎖住我們的這個來鎖住我們這個轉檯 對不對 那麼我們電機的話通過連軸器帶動這根軸旋轉的話 那麼我們的狀態的話 它也會一起來轉動啊 那麼其實像這裏的晶圓的固定 其實我們一般的話是採用那種真空啊 是採用真空的方式把它給吸住的 只不過這裏的話它採用的是機械式的 採用機械式的 這種的話其實不是很好 不是很好 一般是採用真空吸附好吧 那麼其實在這個轉檯這裏的話 它最重要的其實並不是這裏的機械結構啊 是什麼 是它的密封啊 是它的密封 我們主要是考慮密封性 因爲它裏面有有很多液體 對不對 如果說你這個液體的話 你從中間 你從中間這個露出來的話 可第一個啊 可能會把我們的這個下面的一些結構啊 修飾掉或者說給或者說這個電機進水 對不對 那麼對於我們的結構的話 它都不好啊 都不好 所以說我們來看的 首先的話 它第一個有這樣的一個密封罩 對不對 那麼這個密封罩的話 跟這個軸的話 它是沒有發生任何的接觸的 看到沒有 它是套到我們這個底座的這一個呃圓柱 上面的 它是套在這個圓柱上面的 同樣的話 再通過螺絲啊鎖上去 這裏的話是一個接頭啊接頭 好 那麼這一個罩子和這一個法蘭之間的話 它中間還有一個密封啊 還有還有一層密封圈 對不對 那麼它這個密封圈的話 首先 它這裏啊這裏是它是卡到這的話 它是卡到這個轉檯轉檯裏面去的 對不對 那麼就算它這個液體它留下來的話 看到沒有 它也只會從這裏下去 對不對 它不可能說介紹到這個裏面去啊再下來 是不是 而且啊這個話它還會有一層密封圈啊 朋友們 注意 這裏它還會有一層密封圈 那麼它這個液體就更加過不來了 就更加過不來了 啊 那麼這是我們這個狀態結構啊 最重要的地方也就是密封 對不對 啊密封 呃 那麼其實整整個結構的話也都是比較簡單 但凡是做過3C或者說鋰電設備的人的話 像這種設備的話 這做起來的話應該算是手到擒來啊 手到擒來 是吧 好 那麼我們本節課的內容啊到這裏就結束了啊 同學們再見